我们只创造能为大家带来价值科技型产品


       祺菱科技(KyLink)是一家集研发、制造、 销售于一体的高新技术企业,多年来一直致力于射频电源系统的研发和生产。产品广泛应用于等离子体光谱仪、质谱仪、镀膜、刻蚀、清洗、污水处理等设备中。

       


成功案例

专利产品

年开发经验

研发团队

ABOUT US

12年专注于射频电源产品制造,并量身打造解决方案

0
0
0
0
射频电源
标题
更多
高压电源
匹配箱
匹配箱
更多
  • AT2000
     

    AT2000

    匹配箱适用于1.7-40.68MHz 风冷

四级杆专用电源
附件

产品中心/Product

解决方案 CASES

01

电感耦合等离子体发射光谱仪

实验室仪器解决方案

在密闭的真空压力容器内,利用真空泵获得一定的真空度,射频被馈入到真空室的两个极板之间。在两个极板之间产生一个变电场。气体在电场上被电离,产生相对应的离子。带电离子被加速不断的碰撞气体分子产生级联效应,从而产生等离子体。

02

PECVD

等离子体增强化学气相沉积法解决方案

射频使含有薄膜成分原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

03

Inductively Coupled Plasma Etch

感应耦等离子体刻蚀法决方案

在真空低气压下,ICP 射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈,以一定比例的混合刻蚀气体经耦合辉光放电,产生高密度的等离子体,在下电极的RF 射频作用下,这些等离子体对基片表面进行轰击,基片图形区域的半导体材料的化学键被打断,与刻蚀气体生成挥发性物质,以气体形式脱离基片,从真空管路被抽走

04

等离子体清洗

等离子表面处理仪解决方案

等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。真空腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面.以达到清洗目的。


05

等离子体水处理方法

污水处理设备解决方案

利用高压脉冲放电等离子体的技术是近年来才出现的一项新技术,并首先被应用到环境治理中。在水中进行高压脉冲放电可以产生氢氧自由基、水合电子、不同激励态下的氧原子、氢原子等粒子。这些高能粒子的氧化还原作用能够高效快速地杀死水环境中的微生物和将其中的有机物降解为分子量更小、毒性更低的有机物甚至为二氧化碳。

电话:010-58604623 15210352354  13811857747
地址:北京市朝阳区汤立路220号1号楼26A室

Copyright @ 2019 . All rights reserved.

产品系列

网站导航

扫描登录移动端

扫描关注公众号

电话直呼
在线客服
在线留言
发送邮件
联系我们:
15210352354
13811857747
还可输入字符250(限制字符250)