等离子体是在外加电场的作用下，放电产生的大量高能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在1-10eV，适当控制反应条件可实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。该方法不仅处理效果好，不产生二次污染，而且对于一些难降解废水有着很好的处理效果。
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